激光器诞生不久科学家们就观测到了激光照射到样品而产生等离子体的现象。1962年，Brech首次在国际光谱会议上提出了等离子体可作为一个光谱源，标志着激光诱导击穿光谱（LIBS）的诞生。之后一年，Liode首次使用LIBS进行物质表面分析，标志着LIBS进入分析领域。1964年， Griem出版了第一本等离子体光谱专著，书中详细的介绍了等离子体定量光谱学的理论、推导、结果，以及相关实验技术。经过10年研究，Griem又出版了关于等离子体谱线增宽的书，并在附录中给出了包含许多原子和离子光谱线的展宽和频移的计算值，包括氢和氦的详细参数表，以及特定的电子温度和电子密度条件下其他原子和离子的相关信息，该书的发表具有里程碑意义。

20世纪80年代初，美国科学家开始利用LIBS技术对一些材料进行元素分析，从此，LIBS逐渐发展成为一种能够提供几乎任何种类材料成分实时测量的分析工具。激光诱导击穿光谱（LIBS）作为一种发射光谱分析技术，可以通过高能脉冲激光与物质作用生成等离子体，并在对辐射光谱中原子、离子或分子基的特征谱线检测分析之后获得待测物质组成的定性与定量信息。

北京杏林睿光科技有限公司 亚纳秒微片激光器

传统LIBS系统使用灯泵固体激光器，激光器脉宽10ns级别脉宽激光器激发样本，由于激光脉冲持续时间长，韧致辐射效果明显，需要配套精确的延时控制设备，精确调控激光器与光谱仪触发与采集，才能获取高质量等离子体元素谱线。

北京杏林睿光提供的350ps级别的被动调Q亚纳秒脉冲激光器，脉宽压缩近30倍，能够有效降低热效应，降低韧致辐射效应。可获得高信噪比元素光谱信号。激光器具有100-1000Hz较高的激光器重频，采用0.1-1s光谱仪累计曝光方式，可以提高信号强度和信噪比。

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